• 光电仪器设计(自主模式)

    自主模式
    吴冠豪
    • 吴冠豪副教授清华大学精仪系光电所
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    简介 本课程包括以下5部分内容: 1.仪器设计方法: 1). 仪器设计方法:介绍仪器设计发展趋势,仪器组成,分类等; 2). 误差理论:误差传递与分析,误差分配等,重点介绍阿贝误差; 3). 仪器设计原则:重点介绍阿贝原则和光学自适应原则。 2.仪器总体设计:以典型仪器为例,介绍该仪器的发展,关键技术,和总体设计需要考虑的问题。 1). 观测仪器,以显微镜为主介绍,包括相衬显微成像,高分辨荧光显微成像等。 2). 计量仪器,以干涉仪为主介绍,包括大尺寸测量,纳米测量等 3). 分析仪器,以光谱仪为主介绍,包括色散光谱仪和傅立叶变换光谱仪。 3.仪器关键部件 1). 标准器,介绍标准溯源,标准器种类,安装和调试,重点介绍光栅尺; 2). 纵向瞄准(调焦):重点介绍共焦测量,介绍双路探测和外差探测的特点; 3). 横向瞄准,重点介绍光刻中的对准技术,以及几何量测量中的一些对准技术。 4. 典型仪器发展趋势:与一些专业的仪器厂家访谈,讨论仪器现状和发展趋势。 5. 实验:1)以光学计量仪器为例,介绍一些光学实验的基本技巧、方法。2)在讨论相机的调焦、调光等基础知识之后,介绍照片的一些拍摄技巧,以及简单的后期制作。

    章节第1章:绪论 第2章:仪器误差分析和分配 第3章:光电仪器设计原则 辅助内容:光学实验基本技能 第4章:干涉仪 第5章:光谱仪 第6章:显微镜 第7章:光电仪器新进展 第8章:标准器 第9章:横纵向瞄准 辅助内容:照相机与摄影 课程总结 期末考试