• 微纳加工技术(自主模式)

    自主模式 电子学科 工程学科
    钱鹤
    • 钱鹤教授清华大学微电子所
    • $可随时加入
    • g7626人
    • 7课件全部开放

    简介 微纳加工广泛应用于物理、化学、材料、电子、机械、生物等各种学科。本课程的目的是使学生掌握各种微纳加工的基本原理,为未来的研究打下很好的器件制备基础。 本课程的特点是制作较多的动画,让同学理解工艺过程不再是一件难事。同时本课程将会针对各个工艺过程中的设备进行拍摄和介绍,让同学结合设备视频和课堂讲授,深度掌握加工工艺,以后给导师制备一个新型器件不再是难事。 本课程将会讲授氧化,低压化学气相沉积,等离子加强化学气相沉积,热蒸发,外延,电子束蒸发,3D打印,离子扩散,接触式光刻,电子束光刻,湿法刻蚀,干法刻蚀等各种工艺手段;同时也会介绍介绍常用的工艺检测方法和MEMS加工技术、集成电路工艺集成技术和工艺技术的发展趋势等问题。通过本课程的学习,学生不仅可以掌握器件制造的基本工艺和原理,同时也可以了解到当前工业界以及研究领域最新的工艺趋势。

    章节第一章节 课程介绍 第二章节 微纳工艺综述和超净环境 第三章节 集成电路中的材料和单晶硅的制备 第四章节 薄膜制备技术 第五章节 图形化工艺 第六章节 图形转移技术 第七章节 掺杂 第八章节 CMOS集成电路工艺模块 第九章节 良率与封装技术 第十章节 工艺集成 第十一章节 微机电系统